热式气体质量流量计; MEMS传感器; MEMS医用传感器; 肺功能仪; 压力传感器; 纳米滤筛;
矽翔科技公司生产基于具有国际水平和自主知识产权的微电子机械系统芯片集成器件及微系统产品。主要产品包括用于工业计量和控制的流量 /压力传感器及流量计;用于天燃气计量的工业级燃气表;用于医疗设备的医用流量传感器;用于生物液体及食品加工的钠米过滤筛。矽翔科技公司的技术为处于正在蓬勃发展的微电子机械系统芯片的产业化提供了一系列的产品技术平台。矽翔科技公司并与多家相应产业的国际龙头公司合作,以加速产品的市场化。矽翔科技公司的专利技术类似于CMOS芯片的设计和制作,因而,可利用大规模集成电路生产的质量管理技术来制作特定的集成微电子机械系统芯片。进一步与的封装技术相结合,使得由此而制作的器件、模块、子系统及系统产品在性能、质量、可靠性和生产的难度上都具有十分明显的优势。【查看详情】
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