纳米晶膜金刚石; 冲头表面强化; 模具表面强化; 剪板刀表面强化; 纳米涂层制备; 表面超硬化; 表面超耐磨;
"离子注入是指在高真空状态下,将所需元素电离形成等离子体,并加速到适当能量后强行打入固体表面,从而改变其成分、结构和电子态,以达到改性目的。它早出现于上世纪六十年代后期,是半导体材料的一种标准掺杂方法,也是半导体产业的关键工艺。后来在金属材料改性方面取得突破。在提高工模具硬度,增强耐腐蚀、抗疲劳等性能以及开发新材料等方面取得了丰硕的成果。与真空镀膜(如:CVDPVD)等其它表面工程技术相比较,它的工艺温度低(只有40~50℃)不存在突变界面,不会脱落。可生成任意预想的新物质成分(或结构)。 纳诺离子束是原东北大学离子束技术研究室主任—廖道达教授创立。廖道达教授自1970年始从事离子束相关工作有三十多年科研经验。1985年主持制造了DWY-84A型离子注入与离子束混合两用机并于同年6月在沈阳通过部级鉴定。是国内台既可作单的离子注入,又能作真空镀膜-—离子束混合的两用机。退休后,在广东研制了规模更大、工艺更全的多功能离子束机——φ1*3m的真空靶室允许面积1.5*0.8m重0.5T的工件改性要求。 可作离子注入、离子束混合、离子束辅助镀膜和等离子渗透等离子注入与各种..【查看详情】
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