高温真空气氛管式炉

高温真空气氛管式炉设计用于高温、中温、低温CVD工艺。如三元材料的真空烧结、碳纳米管的研制，ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，进口电阻丝加热，高纯气炼石英管炉膛, 系统可预抽真空，气体采用浮子流量计控制。进口64段智能温度控制仪控制，有效的实现温度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。