MFC气体质量流量控制器

MFC气体质量流量控制器：流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成，即热分布式流量计，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。 分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。

MFC气体质量流量控制器：LF系列的气体质量流量控制器仪器性能稳定可靠、测试结果准确、精密度高，相对标准偏差小于±0.5%F.S，数据采样、记录间隔根据用户要求设定。LF系列的气体质量流量控制器可继集成到数据编程采集器里面，软件界面友好，整个测定过程全中文提示，无需人工监视，操作简单方便，可以非常容易按标准实现气量的测定。测量过程中流量测量自动化、结果计算、数据处理、打印、存储、查询、修改等功能。