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四川雅欣联机械设备有限公司销售生产研发:高真空蒸发镀膜设备,五金离子镀膜机,多弧离子镀膜机,中频磁控溅射镀膜机
大型电子束蒸发光学镀膜机配备电子枪,穴型,腰型或环形坩锅,阻抗式蒸发源,还配置了光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪,可实现成膜速度,和镀膜过程中的自动控制,
可选射频RF/考夫曼型/霍尔离子源
可制备AR,UV/IR,截止滤光片,AF,硬质膜,装饰膜,ITO膜 ,HR膜 等
高精密电子束蒸发光学镀膜机在玻璃/PC/PM/MA基片上形成光学多层薄膜等精密真空镀膜机,将满足客户需求等多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良等薄膜
基片伞架采用中心旋转方式,减少产生震动和颗粒,使基片可以稳定旋转
采用坩锅上没有基片的电子束加热方式作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜
溅射磁控溅射镀膜设备溅射镀膜有多种方式:可分为直流二级溅射,直流三级溅射,直流四级溅射,磁控溅射等,为适应制作各种薄膜的要求所做的进一步改进,反应溅射就是在Ar中加入反应气体,如:N2 O2 CH4 C2H2 等可制备靶材料的氮化物,氧化物,碳化物等化合物薄膜
空心阴极离子镀成膜条件:空心阴极枪选材:空心阴极枪的枪体选用难溶的金属W , Mo Ta 制作,空心阴极枪采用坩管制作,若弧电流为 50—80 A ,则要选用内径为6-8mm。长度为80-120mm 壁厚为1-3mm 的坩管制作空心阴极枪,若弧电流为300A左右,则要采用内径为15mm长度为150-200mm 的坩管制作空心阴极电子枪
四川雅欣联机械设备有限公司销售偏压电源,偏压电源主要用于多弧离子镀和磁控溅射镀膜过程中的辉光清洗,离子轰击和镀膜时在被镀工件上施加负电压,辉光清洗时真空室内充入氩气,它产生辉光,离子轰击是利用加速离子,提高离子轰击工件表面时的能量,增加溅射清洗效果和增加膜基结合力。
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