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上海微系统与信息技术研究所介绍
Company Introduction
汇集了设备，从事于MEMS设备的维护，维修和安装。以及设备和工艺的远程服务。 同时也对在硅片的前道加工的工艺流程单进行编制，对客户电话，网上提出的各种设备，工艺问题给予解答。可以接受科研院所委托--试制半导体前道工艺。设备有ion beam ;pecvd； STS深反应离子刻蚀机；SUSS MB6光刻机；SUSS SB6 键合机；ALCATEL ICP;探针台；台阶仪；WYKO 三维表面测量仪;扫描电镜。等等【查看详情】
工商信息
Business information- 上海微系统与信息技术研究所
- 设备精细另件; 设备技术; PECVD技术; ICP技术; 检测技术; 光刻技术; MEMS;
- 上海
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