设备精细另件; 设备技术; PECVD技术; ICP技术; 检测技术; 光刻技术; MEMS;
上海微系统与信息技术研究所
汇集了设备,从事于MEMS设备的维护,维修和安装。以及设备和工艺的远程服务。 同时也对在硅片的前道加工的工艺流程单进行编制,对客户电话,网上提出的各种设备,工艺问题给予解答。可以接受科研院所委托--试制半导体前道工艺。设备有ion beam ;pecvd; STS深反应离子刻蚀机;SUSS MB6光刻机;SUSS SB6 键合机;ALCATEL ICP;探针台;台阶仪;WYKO 三维表面测量仪;扫描电镜。等等
主营地区大陆; |
经营模式商业服务 |
经营期限长期 |
主要客户群所有人群 |
经营范围设备精细另件; 设备技术; PECVD技术; ICP技术; 检测技术; 光刻技术; MEMS; |
公司邮编200233 |
公司网站http://www.sim.ac.cn |
行政区域上海 |
详细地址上海 上海市 宜山路800号 |